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发明名称 SOLID DIFFUSION SOURCE
摘要
申请公布号 GB2218699(B) 申请公布日期 1992.02.19
申请号 GB19890011478 申请日期 1989.05.18
申请人 * OI-NEG TV PRODUCTS INC 发明人 GARY R * PICKRELL
分类号 C30B29/06;C30B31/02;H01L21/22;H01L21/223;H01L21/225 主分类号 C30B29/06
代理机构 代理人
主权项
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