| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0451440(A) |
申请公布日期 |
1992.02.19 |
| 申请号 |
JP19900159664 |
申请日期 |
1990.06.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MATSUI HIRONOBU;ICHIHASHI MIKIO;UEDA SHINJIRO;OTAKA TADASHI |
| 分类号 |
H01J37/248;H01J37/12;H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/248 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
