| 发明名称 |
METHOD OF ARC DISCHARGE'S CATHODE VAPORIZATION WITH CATHODE SPOTS AND MACROPARTICLES' REDUCED EMISSION AND DEVICE FOR REALIZATION OF THIS METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CS275226(B2) |
申请公布日期 |
1992.02.19 |
| 申请号 |
CS19890005288 |
申请日期 |
1989.09.13 |
| 申请人 |
FYZIKALNI USTAV CSAV,CS |
发明人 |
VYSKOCIL JIRI ING.,CS;MUSIL JINDRICH ING.,CS |
| 分类号 |
C23C8/36;C23C4/00;C23C14/24;C23C14/32;C23C14/48;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/22;C23C14/26 |
主分类号 |
C23C8/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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