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发明名称 SURFACE ANALYZER
摘要
申请公布号 JPH0448542(A) 申请公布日期 1992.02.18
申请号 JP19900155320 申请日期 1990.06.15
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 TANABE MICHIHARU
分类号 G01N27/00;G01N37/00;G01Q30/02;G01Q30/20;G01Q60/10;H01J37/28 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
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