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发明名称 MANUFACTURE OF MOS TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH0448640(A) 申请公布日期 1992.02.18
申请号 JP19900153984 申请日期 1990.06.14
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TSUBONE HITOSHI
分类号 H01L21/265;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/78 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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