首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 US5089083(A) 申请公布日期 1992.02.18
申请号 US19900512151 申请日期 1990.04.20
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 KOJIMA, HIROSHI;TAHARA, YOSHIFUMI;ARAI, IZUMI
分类号 H01L21/311;H01L21/3213 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com