发明名称 |
FORMATION OF HIGH-QUALITY OXIDE SUPERCONDUCTING THIN FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0446082(A) |
申请公布日期 |
1992.02.17 |
申请号 |
JP19900154208 |
申请日期 |
1990.06.13 |
申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
NAGAISHI RYUKI;HATTORI HISAO;ITOZAKI HIDEO |
分类号 |
C04B41/87;C01G1/00;C23C14/28;H01L39/24 |
主分类号 |
C04B41/87 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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