发明名称 FORMATION OF HIGH-QUALITY OXIDE SUPERCONDUCTING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0446082(A) 申请公布日期 1992.02.17
申请号 JP19900154208 申请日期 1990.06.13
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 NAGAISHI RYUKI;HATTORI HISAO;ITOZAKI HIDEO
分类号 C04B41/87;C01G1/00;C23C14/28;H01L39/24 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
主权项
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