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发明名称 MIRROR CYLINDER OF CHAGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 JPH0447652(A) 申请公布日期 1992.02.17
申请号 JP19900154289 申请日期 1990.06.13
申请人 NIKON CORP 发明人 NAKASUJI MAMORU;SATO TATSUO;SUZUKI SHOHEI;MORITA KENJI;SHIMIZU HIROYASU
分类号 H01J37/16 主分类号 H01J37/16
代理机构 代理人
主权项
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