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发明名称 ION SOURCE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0447647(A) 申请公布日期 1992.02.17
申请号 JP19900153548 申请日期 1990.06.11
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 TAKAHASHI MASATO;MATSUBARA KATSUO;TAWARA HIDEAKI
分类号 H01J27/16;H01J37/08 主分类号 H01J27/16
代理机构 代理人
主权项
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