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发明名称
摘要
申请公布号
JPH048511(B2)
申请公布日期
1992.02.17
申请号
JP19850501924
申请日期
1985.04.22
申请人
发明人
分类号
H01L21/318;C23C16/22;C23C16/30;C23C16/48;H01L21/314
主分类号
H01L21/318
代理机构
代理人
主权项
地址
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