发明名称
摘要
申请公布号 JPH048511(B2) 申请公布日期 1992.02.17
申请号 JP19850501924 申请日期 1985.04.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/318;C23C16/22;C23C16/30;C23C16/48;H01L21/314 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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