发明名称 |
PRODUCTION OF MULTIPLE OXIDE THIN FILM AND PRODUCTION OF SPATIAL OPTICAL MODULATION ELEMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0446017(A) |
申请公布日期 |
1992.02.17 |
申请号 |
JP19900154760 |
申请日期 |
1990.06.13 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NOMURA KOJI;OGAWA KUNI |
分类号 |
G02F1/03;C01G29/00;C30B23/08;G02B1/10 |
主分类号 |
G02F1/03 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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