| 发明名称 |
MICRO-DISPLACEMENT TYPE INFORMATION DETECTION PROBE DEVICE AND SCANNING TUNNELING MICROSCOPE, ATOMIC FORCE MICROSCOPE, INFORMATION PROCESSING DEVICE BY USE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CA2049197(A1) |
申请公布日期 |
1992.02.17 |
| 申请号 |
CA19912049197 |
申请日期 |
1991.08.14 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MIYAZAKI, TOSHIHIKO;NOSE, HIROYASU;KURODA, RYO;KAWASE, TOSHIMITSU;SHINJO, KATSUHIKO |
| 分类号 |
G01B7/34;G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q20/04;G01Q60/10;G01Q60/16;G01Q60/38;G01Q70/06;G01Q70/10;G01Q70/14;G01Q80/00;G11B5/592;G11B9/00;G11B9/14;H01J37/28;H01L41/09 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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