| 发明名称 |
MEASURING DEVICE FOR CHARACTERISTIC OF ELEMENT IN SEMICONDUCTOR IC DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10142299(A) |
申请公布日期 |
1998.05.29 |
| 申请号 |
JP19960310171 |
申请日期 |
1996.11.06 |
| 申请人 |
YOZAN:KK |
发明人 |
KOTOBUKI KOKURIYOU;MOTOHASHI KAZUNORI;YAMAMOTO MAKOTO |
| 分类号 |
G01R31/26;G01R31/00;G01R31/28;H01L21/822;H01L23/544;H01L27/04;H01L27/08;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R31/26 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
