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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0444229(A) 申请公布日期 1992.02.14
申请号 JP19900149094 申请日期 1990.06.07
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 KOMORI TOSHIO
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/768;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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