发明名称 MACHINING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0444241(A) 申请公布日期 1992.02.14
申请号 JP19900148788 申请日期 1990.06.08
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ODAKA AKIO
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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