发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0444219(A) 申请公布日期 1992.02.14
申请号 JP19900148640 申请日期 1990.06.08
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 TACHIKAWA MASAMI;NAKANO YOSHINORI
分类号 H01L21/205;H01L21/20 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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