发明名称 VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0445522(A) 申请公布日期 1992.02.14
申请号 JP19900154694 申请日期 1990.06.13
申请人 NEC CORP 发明人 SHISHIGUCHI SEIICHI
分类号 H01L21/205;C30B29/06 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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