发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0444247(A) 申请公布日期 1992.02.14
申请号 JP19900149218 申请日期 1990.06.07
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 SHIMONISHI YASUYUKI
分类号 H01L21/76;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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