发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0444322(A) 申请公布日期 1992.02.14
申请号 JP19900153396 申请日期 1990.06.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 AIHARA KAZUHIRO
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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