FORMATION OF ALUMINUM FILM,申请号JP19900153542-传众专利搜索

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发明名称	FORMATION OF ALUMINUM FILM
摘要
申请公布号	JPH0444325(A)	申请公布日期	1992.02.14
申请号	JP19900153542	申请日期	1990.06.11
申请人	NISSIN ELECTRIC CO LTD	发明人	MAEKAWA HARUO;INOUE DAISUKE;NOGAWA SHUICHI
分类号	C23C14/34;H01L21/3205;H01L23/52	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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