发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0444316(A) 申请公布日期 1992.02.14
申请号 JP19900153570 申请日期 1990.06.12
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 MATSUKAWA NAOKI
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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