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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0444311(A) 申请公布日期 1992.02.14
申请号 JP19900153255 申请日期 1990.06.12
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MISAWA HIROTO;TSUJI HITOSHI
分类号 H01L21/30;H01B3/08 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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