| 发明名称 |
SCANNING TYPE PROBE MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH10339735(A) |
申请公布日期 |
1998.12.22 |
| 申请号 |
JP19970148810 |
申请日期 |
1997.06.06 |
| 申请人 |
SHIMADZU CORP |
发明人 |
KONAKAWA RYOHEI;NAKAJIMA HIDEO |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q90/00;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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