发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR ELECTROPLATING AND JIG UTILIZE THEREFOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0441698(A) |
申请公布日期 |
1992.02.12 |
申请号 |
JP19900147372 |
申请日期 |
1990.06.07 |
申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOBU SEMICONDUCTOR LTD |
发明人 |
KITAHARA TOSHIAKI;NEMOTO KIYOKO |
分类号 |
C25D5/22;C25D7/12;H01L21/288;H01L21/3205 |
主分类号 |
C25D5/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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