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发明名称
摘要
申请公布号
JPH047585(B2)
申请公布日期
1992.02.12
申请号
JP19850159841
申请日期
1985.07.19
申请人
FUJITSU LTD
发明人
MYAGI SHINJI
分类号
H01L21/027;H01L21/30
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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