锡酸锂厚膜陶瓷湿敏元件及其制作方法

摘要

本发明提供一种以Li₂SnO₃为主要成分的厚膜型陶瓷湿敏元件及其制造方法。它具有阻抗低、稳定性高，产品一致性好的特点。当温度为20℃时，对应于10％～95％RH的相对湿度的阻抗为2×10⁶～2×10³Ω，湿度响应时间：吸湿(45％RH到95％RH)为10秒，脱湿(95％RH到45％RH)为17秒，元件的湿度系数为0.4％RH/℃，它可广泛应用于环境空气相对湿度的检测。

主权项

1、一种涉及阻抗随相对湿度变化而变化的湿敏元件，其特征在于：以Li2SnO3为基料，加入三价铬盐类化合物和玻璃料，用有机粘合剂调匀，丝印在含Au(或RnO2)电极的陶瓷基片上，经过500～800℃加热0.5～3小时得以烧结定型，然后在40～100℃和大于90%RH的状况下条件化处理而获得本发明的锡酸锂厚膜陶瓷湿敏元件。