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发明名称 VACUUM PROCESSING APPARATUS AND TRANSPORTATION SYSTEM THEREOF
摘要
申请公布号 US5086729(A) 申请公布日期 1992.02.11
申请号 US19890365677 申请日期 1989.06.13
申请人 ASAHI GLASS COMPANY LTD. 发明人 KATAGIRI, YOSHITAKA
分类号 B29C51/26;B65G49/07;B65G54/02;H01L21/677 主分类号 B29C51/26
代理机构 代理人
主权项
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