发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SILICON SINGLE CRYSTALS
摘要
申请公布号 US5087429(A) 申请公布日期 1992.02.11
申请号 US19890343833 申请日期 1989.04.26
申请人 NKK CORPORATION 发明人 KAMIO, HIROSHI;ARAKI, KENJI;SHIMA, YOSHINOBU;SUZUKI, MAKOTO;KAZAMA, AKIRA;HORIE, SHIGETAKE;NAKAHAMA, YASUMITSU
分类号 C30B15/00;C30B15/02;C30B15/12;C30B15/14 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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