发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR INVESTIGATION OF CONTAMINATION OF ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0439929(A) 申请公布日期 1992.02.10
申请号 JP19900148184 申请日期 1990.06.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUTSUMI RITSUKO
分类号 C23F4/00;H01G9/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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