发明名称 |
FINISHING WORK METHOD OF OUTER PERIPHERAL PART OF SILICON SEMICONDUCTOR WAFER |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH11233463(A) |
申请公布日期 |
1999.08.27 |
申请号 |
JP19980029992 |
申请日期 |
1998.02.12 |
申请人 |
NAOETSU ELECTRONICS CO LTD |
发明人 |
SATO TSUTOMU |
分类号 |
B24B1/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B24B1/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|