发明名称 SUBSTRATE CLEANING JIG
摘要
申请公布号 JPH0437130(A) 申请公布日期 1992.02.07
申请号 JP19900144988 申请日期 1990.06.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SAKA TAKETORA
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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