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发明名称 SEMICONDUCTOR CHIP OR SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0437137(A) 申请公布日期 1992.02.07
申请号 JP19900143519 申请日期 1990.06.01
申请人 HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP 发明人 TATE HIROSHI;KIKUCHI NORISHIGE
分类号 H01L21/60;H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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