发明名称 METHOD OF PRODUCTION OF ELECTRIC CONTACT TO SEMICONDUCTOR OR DIELECTRIC MATERIAL
摘要
申请公布号 SU1711271(A1) 申请公布日期 1992.02.07
申请号 SU19894648501 申请日期 1989.02.07
申请人 VORONEZHSKIJ G UNIV IM.LENINSKOGO KOMSOMOLA 发明人 BORMONTOV EVGENIJ N,SU;KRYACHKO VIKTOR V,SU;SYNOROV VLADIMIR F,SU;CHISTOV YURIJ S,SU
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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