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发明名称 APPARATUS FOR MEASURING PATTERN AREA
摘要
申请公布号 JPH0438409(A) 申请公布日期 1992.02.07
申请号 JP19900145886 申请日期 1990.06.04
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 SHIMAZU SHIGEAKI;SAKAMOTO SEIYA
分类号 G01B11/28;B41F31/02;G03F5/00 主分类号 G01B11/28
代理机构 代理人
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