| 发明名称 |
PLASMA PROCESSING SYSTEM UTILIZING COMBINED ANODE/ION SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0977904(A1) |
申请公布日期 |
2000.02.09 |
| 申请号 |
EP19980912095 |
申请日期 |
1998.03.27 |
| 申请人 |
SIERRA APPLIED SCIENCES, INC. |
发明人 |
MANLEY, BARRY, W. |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C14/00;C23C14/35;H01J37/08;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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