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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0437031(A) 申请公布日期 1992.02.07
申请号 JP19900143199 申请日期 1990.05.31
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 OGIWARA KENJI
分类号 H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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