发明名称 Oberflächenbehandlungsverfahren für Siliziumsubstraten
摘要
申请公布号 DE69605956(D1) 申请公布日期 2000.02.10
申请号 DE19966005956 申请日期 1996.03.08
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI 发明人 FUKAZAWA, YUJI;MIYAZAKI, KUNIHIRO
分类号 B08B3/08;C09K13/08;C23F1/08;C23F1/24;C23G1/12;C23G3/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/00 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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