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经营范围
发明名称
Oberflächenbehandlungsverfahren für Siliziumsubstraten
摘要
申请公布号
DE69605956(D1)
申请公布日期
2000.02.10
申请号
DE19966005956
申请日期
1996.03.08
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI
发明人
FUKAZAWA, YUJI;MIYAZAKI, KUNIHIRO
分类号
B08B3/08;C09K13/08;C23F1/08;C23F1/24;C23G1/12;C23G3/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/00
主分类号
B08B3/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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