| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM PRAEZISIONSMESSEN MITTELS EINES ABTASTELELEKTRONENMIKROSKOPS. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3585013(D1) |
申请公布日期 |
1992.02.06 |
| 申请号 |
DE19853585013 |
申请日期 |
1985.03.20 |
| 申请人 |
VICKERS PLC |
发明人 |
SEILER DIETER GEORG;SULWAY DAVID VERNON |
| 分类号 |
G01B11/02;G01B15/00;G01B21/02;G01D18/00;G01N23/00;G01N23/203;G01N23/225;G01Q10/02;G01Q10/06;G01Q30/02;H01J37/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01N23/00 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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