PRODUCTION OF SPUTTERING TARGET,申请号JP19900145132-传众专利搜索

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发明名称	PRODUCTION OF SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号	JPH0436464(A)	申请公布日期	1992.02.06
申请号	JP19900145132	申请日期	1990.06.01
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	SAITO KENJI
分类号	C23C14/34;H01L21/285	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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