发明名称 METHOD OF MANUFACTURING AN AMORPHOUS-SILICON THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 GB2212661(B) 申请公布日期 1992.02.05
申请号 GB19880029764 申请日期 1988.12.21
申请人 * SEIKOSHA CO LTD 发明人 YOSHIAKI * WATANABE;SAKAE * TANAKA
分类号 H01L27/12;H01L21/027;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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