发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING AN AMORPHOUS-SILICON THIN-FILM TRANSISTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2212661(B) |
申请公布日期 |
1992.02.05 |
申请号 |
GB19880029764 |
申请日期 |
1988.12.21 |
申请人 |
* SEIKOSHA CO LTD |
发明人 |
YOSHIAKI * WATANABE;SAKAE * TANAKA |
分类号 |
H01L27/12;H01L21/027;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L27/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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