发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR COATING RECEPTOR SUBSTRATES IN AN ENCLOSED PLANETARY ARRAY
摘要
申请公布号 EP0435577(A3) 申请公布日期 1992.02.05
申请号 EP19900314010 申请日期 1990.12.20
申请人 XEROX CORPORATION 发明人 PETROPOULOS, MARK;BERGER, STUART B.;HAMMOND, JOHN M.
分类号 G03G5/05;B05B3/10;B05B13/00;B05B13/02;B05C9/14;B05C13/00;F26B15/00;G03G5/00;H01L21/00;(IPC1-7):B05B13/02 主分类号 G03G5/05
代理机构 代理人
主权项
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