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<p>Um nichtleitende Proben (PR) in einem Elektronenstrahlgerät aufladungsneutral untersuchen zu können, wird vorgeschlagen, die durch den abtastenden Elektronenstrahl aufgebrachte Ladung mit Hilfe der in einem Metallplasma vorhandenen Ladungsträger zu neutralisieren. Das Plasma erzeugt man durch eine Gasentladung zwischen zwei in der evakuierten Probenkammer (KA) angeordneten Elektroden (A, K). Eine dieser Elektroden (K) besitzt einen geschichteten Aufbau (Metall-Isolator-Metall), der die Zündung der Gasentladung durch einen Hochspannungsimpuls erleichtert. <IMAGE></p> |
