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摘要
申请公布号
JPH0435042(A)
申请公布日期
1992.02.05
申请号
JP19900140025
申请日期
1990.05.31
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KUSANO HIROYUKI
分类号
H01L21/82;H01L21/66
主分类号
H01L21/82
代理机构
代理人
主权项
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