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发明名称 DEPOSITION APPARATUS AND METHODS
摘要
申请公布号 GB9125771(D0) 申请公布日期 1992.02.05
申请号 GB19910025771 申请日期 1991.12.04
申请人 ELECTROTECH EQUIPMENTS LIMITED 发明人
分类号 C23C16/50;C23C16/505;C23C16/509;C23C16/52;H01J37/32 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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