| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN FILM EL ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0434891(A) |
申请公布日期 |
1992.02.05 |
| 申请号 |
JP19900140629 |
申请日期 |
1990.05.30 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
SHIMOYAMA HIROYUKI;NAKAMURA NORIAKI;ISAKA KINICHI;INOHARA AKIO;KISHISHITA HIROSHI |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/08;C23C14/30;C23C14/54;H01L21/203;H05B33/10 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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