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发明名称
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH0434973(A)
申请公布日期
1992.02.05
申请号
JP19900140491
申请日期
1990.05.30
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
FURUYAMA TAKESHI
分类号
H01L27/118;H01L21/82
主分类号
H01L27/118
代理机构
代理人
主权项
地址
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