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发明名称
MANUFACTURE OF WAFER
摘要
申请公布号
JPH0435028(A)
申请公布日期
1992.02.05
申请号
JP19900142488
申请日期
1990.05.31
申请人
SHIN ETSU CHEM CO LTD
发明人
ITO KUNIHIRO;MARUYAMA MATSUO
分类号
B24B1/00;H01L21/304;H01L41/18
主分类号
B24B1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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