METHOD FOR FIXING TARGET OF SPUTTERING DEVICE,申请号JP19900139022-传众专利搜索

发明名称	METHOD FOR FIXING TARGET OF SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0432565(A)	申请公布日期	1992.02.04
申请号	JP19900139022	申请日期	1990.05.29
申请人	TOKUDA SEISAKUSHO LTD;SONY CORP	发明人	KATO NAOKI;KINOKIRI KYOJI;IKEDA JIRO
分类号	C23C14/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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