发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0433334(A) 申请公布日期 1992.02.04
申请号 JP19900141084 申请日期 1990.05.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MORITA KIYOYUKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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