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发明名称 COOLING SYSTEM FOR ELECTRON BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0433245(A) 申请公布日期 1992.02.04
申请号 JP19900135204 申请日期 1990.05.28
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANAKA TAKEO;YANAGIDA TAKEHIKO;TOMITA MASAHIRO;TERAKADO SADAO
分类号 H01J37/141 主分类号 H01J37/141
代理机构 代理人
主权项
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